Плазмохимическое (сухое) травление – удаление поверхностных слоев материала в результате действия частиц плазмы и химических реакций с продуктами объемных плазмохимических реакций. Различают изотропное травление – скорость травления материала изотропно распределена в пространстве и анизотропное травление – материал удаляется преимущественно в определенном направлении. Селективность травления характеризует соотношение скоростей травления различных материалов.
