Химическая активность плазмы – способность плазмы производить целенаправленные химические изменения в исходной газовой среде или в образцах, помещенных в плазму. Такое воздействие обусловлено присутствием в плазме активных частиц - атомов, радикалов, возбужденных атомов и молекул и заряженных частиц (ионы, электроны). Таким образом, химическая активность плазмы определяется ее внутренними параметрами. При известной цели воздействия можно ввести количественную меру химической активности: в случае разложения такой мерой является степень разложения, в случае синтеза – степень конверсии исходного вещества в определенный продукт, в случаях травления и осаждения пленок – скорости травления и осаждения и.т.д. |
|
