Вакансия - дефект кристалла, представляющий собой отсутствие атома или иона в узле кристаллической решётки. В. имеются во всех кристаллах, как бы тщательно эти кристаллы ни выращивались. В реальном кристалле В. возникают и исчезают в результате теплового движения атомов. Механизм образования В. можно представить как выход атомов поверхностного слоя на поверхность с последующим переходом возникающих поверхностных "дырок"