Ионизационный манометр - принцип действия манометра основан на зависимости между давлением и ионным током, возникающим в результате ионизации электронами молекул газа. В измерениях необходим учет типа откачиваемого газа. При больших давлениях (свыше 1 Па) существует опасность перегрева катода, а в присутствии химически активных газов (кислород) он быстро разрушается. Измеряет давление ниже 10 -1 Па.