Термопарный манометр - принцип действия основан на зависимости коэффициента теплопроводности газа от давления. Измеряет общее давление всех газов и паров, присутствующих в вакуумной системе. Обладает значительной инерционностью. Диапазон рабочих давлений термопарного манометра составляет () Па.