Турбомолекулярный насос – высоковакуумный агрегат в котором молекулы газа, поступающие во входное отверстие с тепловыми скоростями, претерпевают столкновения с быстровращающейся поверхностью ротора, приобретая высокую скорость направленного движения. Быстрота откачки этого типа насосов слабо зависит от рода газа. Предельное давление насосов Па. Наибольшее выпускное давление таких насосов для воздуха ? (1 ? 10) Па. К достоинствам турбомолекулярных насосов относятся: высокая удельная быстрота действия (), широкий диапазон рабочих давлений ( ? 10) Па, быстрый запуск ? (5 ? 10) мин., практически безмасляный спектр остаточных газов.