Издательство: Академия
Год выпуска: 2008
ISBN: 978-5-7695-4227-5
Формат: 60x90/16
Кол-во страниц: 400
Описание: Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии. Для студентов высших учебных заведений.
Цена: 767 руб.
Знаете ли Вы, что ...
Объективное исследование
Объективное исследование - беспристрастный, спокойный, лишенный пристрастия и предвзятости. Объективное отношение. Объективный ...
Обострение
Обострение (recrudescence) - рецидив заболевания после периода клинического улучшения или ремиссии ...
Компенсация
Компенсация (compensation) - возмещение какого-либо функционального или структурного недостатка. Например, компенсация ...
