Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 2. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования
Серия: Электроника
Автор: М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. Г. Путря, В. И. Шевяков
Издательство: Бином. Лаборатория знаний
Год выпуска: 2009
ISBN: 978-5-94774-585-6, 978-5-94774-583-2
Формат: 60x90/16
Кол-во страниц: 424
Описание: Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области
Цена: 435 руб.
Знаете ли Вы, что ...
Рабочее место
Рабочее место - место, в котором работник должен находиться или в которое ему необходимо прибыть в связи с его работой и ...
Отек
Отек (oedema) - скопление избыточного количества жидкости в тканях; по-другому данное состояние называется водянкой (dropsy). ...
Опасный производственный фактор
Опасный производственный фактор - производственный фактор, воздействие которого на работника может привести к его травме (ст. ...
Лихорадка
Лихорадка (fever) или пирексия (pyrexia) - повышение температуры тела по сравнению с нормальной (т.е. выше оральной ...
Компенсация
Компенсация (compensation) - возмещение какого-либо функционального или структурного недостатка. Например, компенсация ...
Эпидемический процесс
Эпидемический процесс - это распространение инфекционных болезней среди людей.
