Автор: Д. Г. Громов, А. И. Мочалов, А. Д. Сулимин, В. И. Шевяков
Издательство: Бином. Лаборатория знаний
Год выпуска: 2009
ISBN: 978-5-94774-904-5
Формат: 60x90/16
Кол-во страниц: 280
Описание: Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
Цена: 428 руб.
Знаете ли Вы, что ...
Охрана труда
Охрана труда - система обеспечения безопасности жизни и здоровья работников в процессе трудовой деятельности, включающая ...
Оптимальные условия труда
Оптимальные условия труда - предпосылки для поддержания высокого уровня работоспособности (Руководство P 2.2.2006-05).
Здоровье
Здоровье - это состояние полного физического, духовного и социального благополучия, а не только отсутствие болезней или ...
Эпидемиология
Эпидемиология (от греч. epi - в, на и demos - народ и logos - наука) - наука, изучающая причины возникновения и закономерности ...
Эндемическая заболеваемость
Эндемическая заболеваемость (эндемия - от греч. endemos - местный) - постоянно существующая заболеваемость на данной территории ...
Штамм
Штамм (от нем. stamm - ствол, основа) - чистая культура микроорганизмов, выделенных из определенного источника и отличающихся ...
