Автор: Д. Г. Громов, А. И. Мочалов, А. Д. Сулимин, В. И. Шевяков
Издательство: Бином. Лаборатория знаний
Год выпуска: 2009
ISBN: 978-5-94774-904-5
Формат: 60x90/16
Кол-во страниц: 280
Описание: Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
Цена: 428 руб.
Знаете ли Вы, что ...
Отек
Отек (oedema) - скопление избыточного количества жидкости в тканях; по-другому данное состояние называется водянкой (dropsy). ...
Обострение
Обострение (recrudescence) - рецидив заболевания после периода клинического улучшения или ремиссии ...
Действие токсическое
Действие токсическое - способность некоторых химических соединений и биологических веществ оказывать вредное воздействие на ...
Элиминация
Элиминация (от лат. еlimino - выношу за порог, удаляю) (биол.) - гибель неприспособленных особей в процессе борьбы за ...
Экзотические болезни
Экзотические болезни - болезни, не свойственные данной территории, завезенные из других стран.
Шум
Шум - всякий неприятный или нежелательный звук или совокупность звуков, мешающих восприятию полезных сигналов, нарушающих ...
